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蔡司扫描电子显微镜sigma系列简明操作指南

分类:公司新闻 发布时间:2024-05-23 73896次浏览

  蔡司扫描电子显微镜sigma系列简明操作指南  一、 开机说明  冷启动步骤...

  蔡司沈阳扫描电子显微镜sigma系列简明操作指南

  一、 开机说明

  冷启动步骤

  1、启动UPS

  打开墙上空气开关,确认UPS后面电池开关打开,按前面面板上On键至两个绿灯亮。

  2、启动循环水冷机。

  按On键,确认水泵1和制冷指示灯亮。

  检查出水口压力在2~3bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。

  若有报警,检查水位,按Res键。

沈阳蔡司沈阳扫描电镜

  3、启动空气压缩机。.

  确认空气压缩机上启动阀门上开关为“1”状态。检查输出气压为5~ 6bar.

  4、确认主机后两个电源开关状态为On.

  此时,主机前面板上红灯亮。

  5、按下黄键。.

  说明:前级真空泵进入工作状态,分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。

  6、按下绿键。

  按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码: .

  7、启动SmartSEM软件。

  用户名: system

  密码:

  8、检查真空值,等待真空就绪。

  △注意:当System Vacuum<2X 10'mBar时,会自动打开CIV阀门(column isolation valve),并启动离子泵。

  当Gun Vacuum=<5 X 10^mBar时,可启动灯丝。若长期停机,需做烘烤。

  9、开启灯丝。

  10、开Tv,检查样品台。

  11、装样品(见第二部分)。

  12、加高压(EHT)。

  13、观察样品。

  待机状态

  1、关闭高压(EHT)。 .

  2、关闭SmartSEM软件。

  注意:分两步,先关用户界面User Interface,后关后台程序EM Server.

  3、关Windows。

  4、必要时,关能谱、EBSD.

  5、按下黄键

  此时,电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。

  待机状态启动

  1、按下绿键。

  按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码:

  2、启动SmartSEM软件。

  用户名: system

  密码:

  3、检查真空值。

  4、换样或加高压观察样品。

  关机步骤

  1、关高压(EHT)和灯丝。

  2、关SmartSEM软件。

  注意:分两步,先关用户界面User Interface,后关后台程序EM Server.

  3、关Windows.

  4、关能谱、EBSD.

  5、按下黄键,等待~10秒钟。

  等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。

  6、按下红键。

  7、关循环水冷机。

  8、必要时,关氮气总阀门。

  9、必要时,关UPS.

  10、必要时,关墙上空气开关。

  烘烤步骤

  1、确认高压(EHT)和灯 丝关闭。

  2、拨出高压电线.

  先松开四颗螺丝,拔出高压头。

  3、打开监控软件Gun Monitor.

  设置监控Gun Vacuum和System Vacuum参数,时间间隔1s。

  4、开始烘烤

  菜单栏Tools→go to panel→bakeout,打开Bakeout界面,设定加热时间8~20h,冷却时间设为2h,开始。

  5、烘烤完成

  结束后检查枪真空值,-般小于1X 10°mBar.关闭Gun Monitor。插入高压头,锁紧。


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